激光掃描共聚焦顯微鏡Axio CSM700
係統介紹
Axio CSM700 真實色共聚焦顯微鏡以共聚焦光學為基本原理， 使用高速線掃描為成像方法， 並采用氙燈為真實色光源， 是一款能夠快速提供工業零部件表麵彩色三維輪廓， 並且完全不接觸測試樣品的儀器設備。它具有三大“獨門絕技” ：共聚焦、線掃描、白光源。由於采用了共聚焦成像原理，Axio CSM700 將傳統光學分辨率提高 1.4 倍，其 XY 方向線分辨率達到 160 nm。 同時， 在充分利用共聚焦能提供高度信息的基礎上， Axio CSM700配備了精度高、重複性好的 Z 軸自動步進裝置，*小步進精度達到 10nm，這使得高度上亞微米，甚至納米尺度的非接觸式**測量成為可能。傳統共聚焦采用點掃描成像，速度較慢；而 Axio CSM 700 采用線掃描，成像速度大大提高，*快的 WF 模式掃描速度超過 100 幅/秒，可以說瞬間即可得到測量結果，大大提高工作效率。同時， Axio CSM700 使用白色光源， 能夠展現被測試樣表麵的真實顏色， 從而將傳統黑白共聚焦掃描顯微鏡拓展到更廣闊的應用領域。
線掃描共聚焦成像原理
氙燈照明器 1 發出的白光經過線性照明器 2 變成一組線光源， 該組線光源隨著 2 的**移動從而實現在 XY 方向的線掃描。掃描光束經過半反半透分光鏡 3，然後到達物鏡*終到達樣品表麵 4，攜帶樣品表麵高度信息的光束從樣品表麵 4 反射， 經過分光鏡 3 以及聚焦棱鏡*後到達線性探測器 5，該線性探測器 5 通過與線性照明器 2 的**同步，實現僅對焦平麵光線的探測，也就是滿足共聚焦基本原理的探測。*後，通過精密 Z 軸自動步進裝置移動樣品 4，得到樣品表麵不同高度位置的一係列聚焦圖像，計算機係統計算得到樣品表麵三維形貌。