Line Tech氣體質量流量控製器

產品特點：

• 快速的響應時間
• 無泄漏
• 較好的抗腐蝕性
• **的線性
• 較高的長期穩定性
• 寬泛的壓力範圍
• 模塊化設計
• 較高性價比

 

技術指標：

流量範圍	10SCCM-125SLPM
響應時間	≤2sec
準確度	≤1%FS
重複精度	±0.25%
輸入/輸出信號	0-5VDC,4-20mA
供電電源	+15~28VDC,350mA
耐壓	<9MPa
工作環境溫度	0-50℃
泄漏率	1*10-9atm.cc/sec