Alicat氣體質量流量控製器

產品特點：

• 滿量程從0.5(S)CCM到2000(S)LPM
• 響應時間100ms
• 量程比優於100：1
• 精度±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿量程）
• 可通過本地顯示、RS-232或模擬信號三種控製方式來控製流量
• 安裝位置不敏感
• 現場可選30種校驗氣體

 Alicat氣體質量流量控製器、體積流量控製器性能指標

                                                                                                                                                 

 

指標	質量流量控製器	體積流量控製器	描述
標準量程	0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500 (S)CCM； 1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，2000(S)LPM		滿量程
精度	±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿量程）		滿量程
重複性	±0.5%		滿量程
量程比	100:1		測量和控製
響應時間	100		毫秒（可調）
標準狀態(STP)	25℃&14.696PSIA（101.325kPa）	無	僅測量質量流量用
溫度範圍	-10～50		℃
零點漂移	0.02％		滿量程/℃/Atm
量程漂移	0.02％		滿量程/℃/Atm
濕度範圍	0-100%		無冷凝
測量流量範圍	102.4％		滿量程
*大耐壓	150	150*	PSIG
輸入/輸出（數字）	質量流量、體積流量、絕壓和溫度	體積流量	RS-232串口
輸入/輸出（模擬）	質量流量	體積流量	0-5VDC
可選輸入/輸出 **路模擬	質量流量、體積流量、絕壓或溫度	體積流量	0-5VDC,0-10VDC或4-20mA
電氣連接	8針		小型圓插頭
供電電壓	12-18VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC）**
供電電流	0.250A
安裝位置敏感度	0%
預熱時間	＜1		秒
接液材質	303&302不鏽鋼，Viton®，RTV矽樹脂，玻璃纖維增強尼龍，鋁，銅，410不鏽鋼
*對於體積流量控製器，若入口壓力＞10PSIG時，須同廠家聯係。 **使用24V時需指定24V線圈.

 

本地顯示：

ALICAT所有產品均提供本地顯示作為標準配置（無顯示產品可以用於OEM）。質量流量控製器和體積流量控製器在主顯示上均提供了不同的過程參數信息，用戶通過按鍵可以選擇主顯示方式（Main Mode Display）和所測的氣體(30種校驗氣體)，調節PID參數，將測量流量清零等。

 

      

數字輸出（RS-232）：

所有的ALICAT產品均具有標準的RS-232輸出。其信號通過8針圓形接頭或6針工業連接頭傳輸。使用ALICAT的RS-232輸出或輸入通訊串口無需特彆軟

 

件。任何帶有終端程序的設備，例如Windows®操作係統裡的“超級終端”，均可以使用我們的ALICAT產品。RS-232可以實現本地顯示上的所有操作

 

功能，例如：清零、更換校驗氣體、改變PID等。

 

對於質量流量控製器，通過RS-232所顯示的過程參數同其本地顯示上數據是一致的。控製功能也與每個型號的本地顯示控製模式一致（如右圖所

 

示）。體積流量控製器的控製功能 (Loop)隻定位在“體積流量(Volume)”上。 所有的產品均可以根據用戶的選擇配置為流動模式或輪循模式。