Alicat氣體質量流量計
產品特點:
滿量程從0.5(S)CCM到2000(S)LPM
響應時間10ms
量程比優於100:1
精度±0.8%讀數±0.2%滿量程(可選±0.4%讀數±0.2%滿量程)
帶本地顯示、並標配RS-232和模擬信號輸出形式。
可顯示多種參數,質量流量、體積流量、溫度和**壓力。
自動複位或在顯示屏上按鍵複位
不受壓力和溫度變化的影響
無需預熱
安裝位置不敏感
現場可選30種校驗氣體
技術指標:
指標
質量流量計
體積流量計
描述
標準量程
0.5,1,2,5,10,20,50,100,200,500 (S)CCM
1,2,5,10,20,50,100,250,500,1000,1500,2000SLPM
滿量程
精度
±0.8%讀數±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數±0.2%滿量程)
重複性
±0.2%
滿量程
量程比
100:1
測量
響應時間
10
毫秒(可調)
標準狀態(STP)
25℃ &14.696PSIA (101.325kPa)
無
僅測量質量流量用
溫度範圍
-10~50
℃
零點漂移
0.02%
滿量程/℃/Atm
量程漂移
0.02%
滿量程/℃/Atm
濕度範圍
0-100%
無冷凝
測量流量範圍
128%(過流率)
滿量程
*大耐壓
145
145*
PSIG
輸出信號(數字)
質量流量、體積流量、**壓力和溫度
體積流量
RS-232串口
輸出信號(模擬)
質量流量
體積流量
0-5VDC
可選輸出信號
**路模擬輸出
質量流量、體積流量、**壓力或溫度
體積流量
0-5VDC,0-10VDC或4-20mA
電氣連接
8針
小型圓插頭
供電電壓
7-30VDC(4-20mA輸出時為:15-30VDC)
供電電流
0.035A (4-20mA輸出時為:0.055A )
安裝位置敏感度
0%
安裝後須清零
預熱時間
<1
秒
接液材質
303&302不鏽鋼,Viton®,RTV矽樹脂,玻璃纖維增強尼龍,鋁
* 對於體積流量計,若入口壓力>10PSIG時,須同廠家聯係。
本地顯示:
ALICAT所有產品均提供本地顯示作為標準配置(無顯示產品可以用於OEM)。氣體質量流量計和體積流量計在主顯示上均提供了不同的過程參數信息,用戶通過按鍵可以選擇主顯示(Main Mode Display)和所測的氣體。
數字輸出(RS-232):
所有的ALICAT產品均具有標準的RS-232輸出。其信號通過8針圓形接頭或6針工業連接頭傳輸。使用ALICAT的RS-232輸出或輸入通訊串口無需特彆軟件。任何帶有終端程序的設備,例如Windows®操作係統裡的“超級終端”,均可以使用我們的ALICAT產品。RS-232可以實現本地顯示上的所有操作功能,例如:清零、更換校驗氣體等。
對於質量流量計和體積流量計,通過RS-232所顯示的過程參數同其本地顯示上數據是一致的。所有的產品均可以根據用戶的選擇配置為流動模式或輪循模式。
模擬輸出:
模擬信號通訊同樣是由RS-232接口的8針圓形接頭來提供。默認的模擬輸出信號是0-5VDC,可選擇0-10VDC或4-20mA的輸出信號。
ALICAT質量流量計提供0-5VDC輸出“質量流量”,同時可選**路單獨模擬信號輸出“壓力”、“溫度”或“體積流量”。
ALICAT體積流量計提供0-5VDC輸出“體積流量”。
Alicat氣體質量流量計
指標
質量流量計
體積流量計
描述
標準量程
0.5,1,2,5,10,20,50,100,200,500 (S)CCM
1,2,5,10,20,50,100,250,500,1000,1500,2000SLPM
滿量程
精度
±0.8%讀數±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數±0.2%滿量程)
重複性
±0.2%
滿量程
量程比
100:1
測量
響應時間
10
毫秒(可調)
標準狀態(STP)
無
僅測量質量流量用
溫度範圍
-10~50
℃
零點漂移
0.02%
滿量程/℃/Atm
量程漂移
0.02%
滿量程/℃/Atm
濕度範圍
0-100%
無冷凝
測量流量範圍
128%(過流率)
滿量程
*大耐壓
145
145*
PSIG
輸出信號(數字)
質量流量、體積流量、**壓力和溫度
體積流量
RS-232串口
輸出信號(模擬)
質量流量
體積流量
0-5VDC
可選輸出信號
**路模擬輸出
質量流量、體積流量、**壓力或溫度
體積流量
0-5VDC,0-10VDC或4-20mA
電氣連接
8針
小型圓插頭
供電電壓
7-30VDC(4-20mA輸出時為:15-30VDC)
供電電流
安裝位置敏感度
0%
安裝後須清零
預熱時間
<1
秒
接液材質
303&302不鏽鋼,Viton®,RTV矽樹脂,玻璃纖維增強尼龍,鋁
* 對於體積流量計,若入口壓力>10PSIG時,須同廠家聯係。
ALICAT所有產品均提供本地顯示作為標準配置(無顯示產品可以用於OEM)。氣體質量流量計和體積流量計在主顯示上均提供了不同的過程參數信息,用戶通過按鍵可以選擇主顯示(Main Mode Display)和所測的氣體。
數字輸出(RS-232):
所有的ALICAT產品均具有標準的RS-232輸出。其信號通過8針圓形接頭或6針工業連接頭傳輸。使用ALICAT的RS-232輸出或輸入通訊串口無需特彆軟件。任何帶有終端程序的設備,例如Windows®操作係統裡的“超級終端”,均可以使用我們的ALICAT產品。RS-232可以實現本地顯示上的所有操作功能,例如:清零、更換校驗氣體等。
對於質量流量計和體積流量計,通過RS-232所顯示的過程參數同其本地顯示上數據是一致的。所有的產品均可以根據用戶的選擇配置為流動模式或輪循模式。
模擬輸出:
模擬信號通訊同樣是由RS-232接口的8針圓形接頭來提供。默認的模擬輸出信號是0-5VDC,可選擇0-10VDC或4-20mA的輸出信號。
ALICAT質量流量計提供0-5VDC輸出“質量流量”,同時可選**路單獨模擬信號輸出“壓力”、“溫度”或“體積流量”。
ALICAT體積流量計提供0-5VDC輸出“體積流量”。