Line Tech气体质量流量控制器

产品特点：

• 快速的响应时间
• 无泄漏
• 较好的抗腐蚀性
• **的线性
• 较高的长期稳定性
• 宽泛的压力范围
• 模块化设计
• 较高性价比

 

技术指标：

流量范围	10SCCM-125SLPM
响应时间	≤2sec
准确度	≤1%FS
重复精度	±0.25%
输入/输出信号	0-5VDC,4-20mA
供电电源	+15~28VDC,350mA
耐压	<9MPa
工作环境温度	0-50℃
泄漏率	1*10-9atm.cc/sec