Line Tech气体质量流量计

产品特点：

快速的响应时间

无泄漏

优良的抗腐蚀性

极好的线性

较高的长期稳定性

宽泛的压力范围

模块化设计

较高的性价比

 

技术指标：

流量范围	10SCCM-125SLPM
响应时间	≤2sec
准确度	≤1%FS
重复精度	±0.25%
输入/输出信号	0-5VDC,4-20mA
供电电源	+15~28VDC,350mA
耐压	<9MPa
工作环境温度	0-50℃
泄漏率	1*10-9atm.cc/sec