电容电压特性测试仪原理介绍

电容电压特性测试仪原理介绍

        电容电压（CV）特性测试仪是一款测试频率为1MHz的数字电容测试仪。专门用于测量半导体器件PN结势垒在不同偏置电压下的电容，也可以测试其他电容。
        仪器分辨率高，电容为四位读数，可解析到0.001pF，偏置电压分辨率为0.01V，漏电流*小分辨率为0.01μA或0.1μA（可选）。
        该测试仪器性能稳定可靠，功能齐全，精度高，操作简单。适用于元器件生产厂家、科研部门、大专院校等单位。
        二、原理
        CV 方法利用反向偏置时 PN 结或肖特基势垒的电容特性来获取有关杂质浓度及其在材料中的分布的信息。这种类型的测量成为 CV 测量技术。这种测量可以提供有关材料横截面均匀性和纵向杂质浓度分布的信息。
        构成半导体器件基本结构的PN结具有电容效应（势垒电容）。当施加正向偏压时，PN结的势垒区变窄，势垒电容变大；当施加反向偏压时，PN结变大。势垒区变宽，势垒电容变小。
        仪器采用电流电压测量方式，利用微处理器通过8次电压测量，计算出每次测量后所需的参数值。使用相敏检测器和模数转换器按顺序快速完成电压测量。通过交换测量信号的相位而不是参考相位检测来进行正交测量。因此，不需要将精 确的模拟相位转换为电压方波电路。通过从同一高频信号源形成测试信号和参考信号来保证正确的相位关系。微处理器根据已知的测试信号的频率和相位，利用ROM存储器中的程序和存储的按键选择来控制测量顺序，以及存储在RAM中的校准数据来计算被测元素的值。