Alicat气体质量流量控制器
产品特点:
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满量程从0.5(S)CCM到2000(S)LPM
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响应时间100ms
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量程比优于100:1
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精度±0.8%读数±0.2%满量程(可选高精度:±0.4%读数±0.2%满量程)
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可通过本地显示、RS-232或模拟信号三种控制方式来控制流量
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安装位置不敏感
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现场可选30种校验气体
Alicat气体质量流量控制器、体积流量控制器性能指标
指标
质量流量控制器
体积流量控制器
描述
标准量程
0.5,1,2,5,10,20,50,100,200,500 (S)CCM;
1,2,5,10,20,50,100,250,500,1000,2000(S)LPM
满量程
精度
±0.8%读数±0.2%满量程(可选高精度:±0.4%读数±0.2%满量程)
满量程
重复性
±0.5%
满量程
量程比
100:1
测量和控制
响应时间
100
毫秒(可调)
标准状态(STP)
25℃&14.696PSIA(101.325kPa)
无
仅测量质量流量用
温度范围
-10~50
℃
零点漂移
0.02%
满量程/℃/Atm
量程漂移
0.02%
满量程/℃/Atm
湿度范围
0-100%
无冷凝
测量流量范围
102.4%
满量程
*大耐压
150
150*
PSIG
输入/输出(数字)
质量流量、体积流量、绝压和温度
体积流量
RS-232串口
输入/输出(模拟)
质量流量
体积流量
0-5VDC
可选输入/输出
**路模拟
质量流量、体积流量、绝压或温度
体积流量
0-5VDC,0-10VDC或4-20mA
电气连接
8针
小型圆插头
供电电压
12-18VDC(4-20mA输出时为:15-30VDC)**
供电电流
0.250A
安装位置敏感度
0%
预热时间
<1
秒
接液材质
303&302不锈钢,Viton®,RTV硅树脂,玻璃纤维增强尼龙,铝,铜,410不锈钢
*对于体积流量控制器,若入口压力>10PSIG时,须同厂家联系。
**使用24V时需指定24V线圈.
本地显示:
ALICAT所有产品均提供本地显示作为标准配置(无显示产品可以用于OEM)。质量流量控制器和体积流量控制器在主显示上均提供了不同的过程参数信息,用户通过按键可以选择主显示方式(Main Mode Display)和所测的气体(30种校验气体),调节PID参数,将测量流量清零等。
数字输出(RS-232):
所有的ALICAT产品均具有标准的RS-232输出。其信号通过8针圆形接头或6针工业连接头传输。使用ALICAT的RS-232输出或输入通讯串口无需特别软
件。任何带有终端程序的设备,例如Windows®操作系统里的“超级终端”,均可以使用我们的ALICAT产品。RS-232可以实现本地显示上的所有操作
功能,例如:清零、更换校验气体、改变PID等。
对于质量流量控制器,通过RS-232所显示的过程参数同其本地显示上数据是一致的。控制功能也与每个型号的本地显示控制模式一致(如右图所
示)。体积流量控制器的控制功能 (Loop)只定位在“体积流量(Volume)”上。 所有的产品均可以根据用户的选择配置为流动模式或轮循模式。
Alicat气体质量流量控制器
产品特点:
Alicat气体质量流量控制器、体积流量控制器性能指标
本地显示:
ALICAT所有产品均提供本地显示作为标准配置(无显示产品可以用于OEM)。质量流量控制器和体积流量控制器在主显示上均提供了不同的过程参数信息,用户通过按键可以选择主显示方式(Main Mode Display)和所测的气体(30种校验气体),调节PID参数,将测量流量清零等。
数字输出(RS-232):
所有的ALICAT产品均具有标准的RS-232输出。其信号通过8针圆形接头或6针工业连接头传输。使用ALICAT的RS-232输出或输入通讯串口无需特别软
件。任何带有终端程序的设备,例如Windows®操作系统里的“超级终端”,均可以使用我们的ALICAT产品。RS-232可以实现本地显示上的所有操作
功能,例如:清零、更换校验气体、改变PID等。
对于质量流量控制器,通过RS-232所显示的过程参数同其本地显示上数据是一致的。控制功能也与每个型号的本地显示控制模式一致(如右图所
示)。体积流量控制器的控制功能 (Loop)只定位在“体积流量(Volume)”上。 所有的产品均可以根据用户的选择配置为流动模式或轮循模式。